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1132 starb das Geschlecht der Herren von Dietfurt aus. 1210 erbte Heinrich von Neuffen Dietfurt, 1253 war es als Reichslehen im Besitz des Turchsessen von Rohrdorf, kam 1274 an den Grafen Mangold von Nellenburg und um 1300 in den Besitz der Herren von Reischach. Diese konnten ihren Besitz durch Käufe vergrößern und zu einer kleinen Herrschaft ausbauen, zu der außer Dietfurt die Dörfer Vilsingen, Inzigkofen und Pault gehörten. 1367 wurde die Herrschaft Dietfurt mit der reischachischen Herrschaft Jungnau vereinigt. 1421 verkauften die Brüder Egg und Heinrich von Reischach die Herrschaft Dietfurt um 2500 fl. an die Gräfin Anna von Werdenberg. Nach dem Aussterben der Werdenberger kam Dietfurt 1534 im Erbgang an die Grafen von Fürstenberg, verblieb aber als Amt Dietfurt bei der Herrschaft Jungnau. Durch die Rheinbundakte wurde die Herrschaft Jungnau im Jahre 1806 unter die Herrschaft des Fürstentums Hohenzollern-Sigmaringen gestellt. Als 1840 das Obervogteiamt Jungnau mit dem Oberamt Sigmaringen vereinigt wurde, wurde Dietfurt dem Gemeindeverband Vilsingen angegliedert. Jahrzehntelang dauerten die Rechtsstreitigkeiten zwischen dem Weiler Dietfurt und der Gemeinde Vilsingen, die dahin entschieden wurden, dass die Dietfurter ihre Angelegenheiten durch einen eigenen Verwaltungsrat entscheiden und auch eine eigene Rechnung für Dietfurt führen durften. Erst am 01. April 1936 wurde Dietfurt voll nach Vilsingen eingemeindet.
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